Bei der Halbleiterherstellung sind höchste Hygiene, Präzision und Sicherheit gefragt – auch beim Wafer-Handling in Laserlithografiemaschinen. Dafür müssen diese in den Endlagen mit passenden Stoßdämpfern ausgestattet sein. Um deren Qualität sicherzustellen, hat ACE mit Partnern einen Hightech-Prüfstand gefertigt.
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