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Lineartisch Lineartisch-Serie mit Piezomotor

| Redakteur: Jan Vollmuth

Physik Instrumente (PI) setzt in der Lineartisch-Serie N-565 piezoelektrische Schreitantriebe ein. Das Antriebsprinzip ermöglicht eine Wiederholgenauigkeit im Bereich weniger Nanometer, hohe Führungsgenauigkeit und hohe Kraft in einer kompakten Einheit.

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Nur 20 mm hoch und nanometergenau: Lineartisch N-565 mit piezoelektrischem Schreitantrieb.
Nur 20 mm hoch und nanometergenau: Lineartisch N-565 mit piezoelektrischem Schreitantrieb.
(Bild: Bild: PI)

Damit erfüllen die Lineartische wichtige Anforderungen an die Positionierung von beispielsweise Proben, Optiken oder mechanischen Komponenten in der Mikroskopie, in der Halbleiterindustrie, bei Laseraufbauten oder bei Anwendungen im Vakuum. Die Versteller sind 65 mm breit und nur 20 mm hoch und arbeiten mit Stellwegen von 13 mm, 26 mm oder 52 mm. Die Länge variiert in Abhängigkeit von den Stellwegen und beträgt 80 mm, 110 mm oder 160 mm.

Kompakt und nanometergenau

Als Wegmesssystem für die Positionsregelung setzt PI einen selbst entwickelten optischen Linearencoder ein, der auf einem integrierten Mach-Zehnder Interferometer basiert. Dieses Messprinzip ermöglicht eine Auflösung von 0,5 nm und eine kleinste Schrittweite von 2 nm.

Der piezoelektrische Antrieb ist selbsthemmend; wird die Zielposition erreicht oder das System ausgeschaltet, verharrt die Positioniereinheit stromlos stabil und zeigt keine Wärmeentwicklung. Die Haltekraftkraft des Positioniertischs beträgt 10 N, die maximale Geschwindigkeit liegt bei 10 mm/s. Die hohe Führungsgenauigkeit wird durch Kreuzrollenlager mit Zwangsführung erzielt.

Vernetzbarer Controller und Software

Mit dem kompakten Controller E-861 können die Lineartische einfach und präzise betrieben werden. Er unterstützt die Bewegungsarten des Piezoschreitantriebs und ist auf die Anforderungen der Mechanik abgestimmt. Aufgrund der Vernetzbarkeit lassen sich bis zu 16 Controller gleichzeitig über eine Computerschnittstelle ansteuern.

Alle Parameter können per Software eingestellt und überprüft werden. Die Inbetriebnahme und Systemkonfiguration erfolgt über das im Lieferumfang enthaltene Programm PI Mikro Move, die Anbindung an die kundenseitige Software ist über Labview-Treiber und DLLs möglich. (jv)

Motek 2016: Halle 8, Stand 8314

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