Luftstromsensor MEMS-basierter Durchfluss-Sensor mit hoher Schock- und Verstopfungs-Resistenz.

Der Luftstromsensor nutzt aktuelle Erkenntnisse asu dem Bereich der MEMS-Technologie und Mikroelektronik und ist unempfindlich gegenüber Verstopfungen und Druckstossen. Der Sensor ist zudem empfindlich bei geringen Luftströmen. Er eignet sich für medizinische und andere Anwendungen in der Prozessindustrie.

Anbieter zum Thema

Baß Antriebstechnik GmbH

FAULHABER Antriebssysteme

microsonic GmbH

Angst+Pfister Sensors and Power

Pewatron stellt den neuen MEMS-basierten Massendurchfluss-Sensors Pflow vor. Der Sensorchip besteht aus zwei Thermosäulen die symmetrisch in jeder Durchflussrichtung eines Heizelementes positioniert sind, welches die Heißlötstellen erhitzt. Um größtmögliche Sensitivität zu gewährleisten, besteht jede der Thermosäulen aus zwanzig seriell angeordneten Wärmefühlern. Wenn ein Luftstrom den Sensorchip passiert, generieren die Thermosäulen eine Ausgangsspannung, die aufgrund des Seebeck-Effektes proportional ist zum Temperaturgefälle zwischen der heißen und der kalten Kontaktstelle. Wenn keine Luft strömt, ist das Temperaturprofil in beiden Richtungen symmetrisch. Angeboten werden fünf Standardmessbereiche zwischen 0-10 SCCM und 0-2000 SCCM sowie auf Kundenwunsch spezifische Bereiche zwischen 10 und 2000 SCCM. Der Pflow bietet eine Genauigkeit von mehr als ±2,0% FS, der temperaturkompensierte Analogoutput (0-50°C) ist zudem hochlinear zum Luftstrom. Die Analogoutput-Spannung beträgt zwischen 1 und 5 VDC und der Sensor ist resistent gegenüber Wasserkondensation. Seine Reaktionszeit ist mit 1 bis 3 ms sehr gering. (br)

Stromversorgung

Medizintechnik unter Strom

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