Transportsystem Berührungsfreies Transportsystem erfüllt hohe Reinheitsanforderungen

Das Linear Motion System von Rexroth erfüllt durch das magnetische Wirkprinzip zum Antrieb der Carrier höchste Anforderungen an die Reinheit, wie zum Beispiel bei der OLED-Produktion im Hochvakuum.

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Bosch Rexroth AG

Displays partikelfrei im Hochvakuum positionieren und beliebig viele Substratträger unabhängig voneinander oder synchron bewegen: Das Linear Motion System von Rexroth erhöht die Prozesssicherheit und Flexibilität in der Display-Produktion und erfüllt auch die nochmals deutlich verschärften Anforderungen für die Herstellung von Groß-Displays der zehnten Generation. Durch das berührungslose Antriebsprinzip und eine darauf abgestimmte Steuerung vereinfacht es die Konstruktion von Prozessanlagen und ermöglicht die schnelle Umrüstung auf neue Produkte.

Hohe Anforderungen an die Reinheit

OLED-Fertigungen der achten Generation und höher stellen anspruchsvollste Prozessanforderungen an die Reinheit: Schon sechs Partikel in der Größe von 50 nm führen zum Ausschuss. Mechanische Transportlösungen erfüllen diese Voraussetzungen, wenn überhaupt, nur mit einem sehr hohen konstruktiven Aufwand. Die Komponenten müssen komplett gekapselt und sämtliche Kabelzuführungen und Durchtriebe für die Motorwellen abgedichtet werden.

Das Linear Motion System (LMS) von Rexroth treibt dagegen eine beliebige Zahl von Substratträgern nach dem Prinzip eines umgekehrten Linearmotors rein magnetisch und damit berührungslos an. Sämtliche elektrische Komponenten sind außerhalb der Prozesskammern angebracht und benötigen keinerlei physische Verbindung mit den Carriern. Dadurch entfallen sämtliche Quellen für die ungewollte Partikelemission und das System steigert die Prozesssicherheit. Das bestätigen Praxiserfahrungen in der Displayproduktion von LED und OLED.

Vielseitige Steuerung

Das LMS arbeitet nicht nur extrem rein, sondern auch hochflexibel. Die Steuerung NYCe 4000 positioniert die Carrier sowohl einzeln und unabhängig voneinander als auch koordiniert. Ohne Veränderungen an der Prozesskammer können Anlagenhersteller beliebig viele Substratträger in verschiedenen Leistungsstufen verwenden.

Die offene Softwarestruktur der auf das LMS abgestimmten Steuerung NYCe4000 vereinfacht die Integration in Anlagenkonzepte. Sie verlagert die Varianz der Anlagenkonfiguration in die Software. Das reduziert den Engineeringaufwand und verkürzt die Time to market von Produktionsanlagen. Gleichzeit erhöht das LMS die Flexibilität der Display-Hersteller, ihre Fertigung an die immer kürzeren Lebenszyklen von zum Beispiel Handys und TV-Geräten auszurichten. Für die Umstellung bereits installierter Anlagen auf neue Produktionsabläufe genügt es, die Software anzupassen.

Das LMS ermöglicht beliebige Transportwege, -längen und Anzahl der Carrier unter nahezu allen Prozessbedingungen. Die Carrier decken Gewichte von 1 kg bis zu mehr als 1000 kg ab. Die Wiederholgenauigkeit der Positionierung erreicht bis zu 10 µm. (jv)

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