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Linearachse Positionieren im Vakuum

Redakteur: Ute Drescher

Die Igus GmbH, Köln, baut das vor einem Jahr vorgestellte Motoren-Programm für ihre Linearachsen sukzessive aus. Zur Hannover Messe 2012 präsentiert das Unternehmen einbaufertige Kombinationen aus Motor und Lineareinheit für den Einsatz unter Wasser oder im Vakuum.

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Auch in der Halbleiterfertigung oder Messtechnik selbst unter Vakuumbedingungen jederzeit in die richtige Position verfahren mit der Edelstahl-Spindellinearachse SLW-ESX-1040 und dem neuen NEMA 23-Vakuum-Schrittmotor mit Edelstahl-Gehäuse.
Auch in der Halbleiterfertigung oder Messtechnik selbst unter Vakuumbedingungen jederzeit in die richtige Position verfahren mit der Edelstahl-Spindellinearachse SLW-ESX-1040 und dem neuen NEMA 23-Vakuum-Schrittmotor mit Edelstahl-Gehäuse.
(Bild: Igus)

In der Halbleiterfertigung oder Messtechnik werden Automatisierungs-Komponenten oft im Vakuum eingesetzt. Um unter diesen Bedingungen zuverlässig zu funktionieren und das Vakuum nicht zu kontaminieren, müssen Lineareinheiten schmierfrei, abriebarm und korrosionsfrei sein. Dafür eignet sich eine Kombination aus spindelgetriebenen Edelstahl-Linearachsen (z.B. SLW-ESX-1040) und dem vakuumgeeigneten NEMA 23-Motor. Der Schrittmotor ist strahlenresistent bis 10 J/kg, sein Gehäuse aus Edelstahl, und die zulässige Motor-Oberflächentemperatur liegt bei -20 bis +80 °C. (ud)

(ID:33520950)

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