Reflektometer Neues Reflektometer zur Messung transparenter Schichtdicken auf Leiterplatten

Das neue spektroskopische Reflektometer zur Dickenmessung transparenter Schichten von Polytec eignet sich für Messungen so genannter OSP-Schichten (Organic Surface Protection) auf rauen Oberflächen wie Kupferleiterbahnen.

Anbieter zum Thema

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

SPN Schwaben Präzision Fritz Hopf GmbH

ACE Stoßdämpfer GmbH

Polytec PT GmbH

Das neue spektroskopische Reflektometer zur Dickenmessung transparenter Schichten ST2080 von Polytec ist ideal für Messungen so genannter OSP-Schichten (Organic Surface Protection) auf rauen Oberflächen wie beispielsweise Kupferleiterbahnen geeignet.

Die simultane Messung vieler Spots liefert als Ergebnis die durchschnittliche Schichtdicke sowie ein detailliertes 3-D-Oberflächenprofil des jeweiligen, 135 nm großen Messflecks. Die minimale Spotgröße liegt, je nach Objektiv bei 1,35 µm (5-fach Objektiv) oder 0,135 µm (50-fach Objektiv). Für die Messung ist keine Probenvorbereitung nötig. Darüber hinaus ist das neu entwickelte System sehr einfach in der Anwendung und eignet sich deshalb besonders, um auch in produktionsnahen Umgebungen eingesetzt zu werden. Die messbaren Schichtdicken liegen zwischen 35 nm und 3 µm, was die üblichen Schichtdicken von OSP-Beschichtungen von 0,1 bis 0,5 µm weit übertrifft.

Mit diesen Eigenschaften ist das ST2080 konventionellen Reflektometern überlegen, die wegen der Oberflächenrauheit der Kupfer-Leiterbahnen oft ungenau messen. Die Alternativen – ionenstrahlbasierte Instrumente oder Analyse mittels sequentieller elektrochemischer Reduktion – sind entweder ungeeignet, teuer oder sehr aufwändig.

Entwickelt wurde das System von K-MAC. Das koreanische Partnerunternehmen von Polytec bietet eine Serie optischer Schichtdickenmesssysteme für die Halbleiterforschung und -industrie, die Display- und die Leiterplattenproduktion. Das berührungslose Messverfahren der Systeme eignet sich für Messungen optisch transparenter Materialien, wie beispielsweise Lacke oder Halbleitermaterialien. (jv)

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