Booster Hochvakuumpumpe gegen Atmosphäre

Pfeiffer Vacuum hat eine Hochvakuumpumpe in den Markt eingeführt, die gegen Atmosphäre arbeitet. Bisher wurde für viele Applikationen eine Kombination aus Hochvakuum- und Vorpumpe

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Pfeiffer Vacuum GmbH

Pfeiffer Vacuum hat eine Hochvakuumpumpe in den Markt eingeführt, die gegen Atmosphäre arbeitet. Bisher wurde für viele Applikationen eine Kombination aus Hochvakuum- und Vorpumpe benötigt. Mit dem OnTool Booster kann nun die Vorpumpe entfallen. Er zeichnet sich durch ein extrem hohes Saugvermögen von 130 m3/h und einem Enddruck von < 1x10-5 mbar aus. Durch die kompakte Bauweise kann die Pumpe direkt an das Tool (zum Beispiel Schleuse oder Transferkammer) angeschlossen werden. Der OnTool Booster ist ideal für saubere Anwendungen, die ohne Partikel, korrosive Gase oder Kondensation ablaufen. Die Anwendungsgebiete erstrecken sich von der Beschichtung, über die Halbleiterindustrie bis hin zu Forschung und Entwicklung.

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