Vakuumpumpe Hochvakuum erzeugen

Redakteur: Dipl.-Ing. Dorothee Quitter

Oerlikon Leybold Vacuum hat eine neue Serie von Turbomolekularpumpen mit integrierter Antriebselektronik vorgestellt.

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Turbomolekularpumpe der TURBOVAC i-Produktlinie
Turbomolekularpumpe der TURBOVAC i-Produktlinie
(Bild: Oerlikon Leybold Vacuum)

Die Turbovac 350 i und 450 i eignen sich mit ihrer zusätzlichen Kompressionsstufe besonders für Ultrahochvakuumanwendungen und den Einbau in kompakte Pumpsystemlösungen. Mit einem Saugvermögen für leichte Gase, das bis zu 60 % über dem vergleichbarer Produkte liegt, und einem Kompressionswert, der rund 100 Mal höher ist als bei Produkten der vorherigen Generation, sind sie besonders für Prozesse mit kleinen Vorpumpen konzipiert. Demgegenüber zeichnen sich die Turbovac T 350 i und T 450 i mit ihrem klassischen Rotordesign durch hohen Gasdurchsatz, schnellere Hochlaufzeit und Unempfindlichkeit gegenüber Partikelanfall aus, wodurch sie speziell für Prozessanwendungen und hohe Gaslasten geeignet sind. (jv)

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