Antriebstechnik und Pneumatik Antriebstechnik für die Waferbearbeitung und -inspektion

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Antriebstechnik und Pneumatik: Wir stellen Ihnen vier neue Lösungen für die Waferbearbeitung vor.

Es gibt spannende Neuheiten für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, zum Beispiel von Festo. Der Spezialist für industrielle Automatisierung hat die Proportional-Ventilinsel VTEP auf den Markt gebracht. Die dabei eingesetzte Drucklufttechnologie nennt das Unternehmen: Controlled Pneumatics. Sie sorgt bei der kompakten Ventilinsel für eine sensible Druckregelung bis unter 1 mbar. Damit eignet sie sich gut für Einsatzfelder wie das Polieren von Wafern oder Patch-Clamp-Anwendungen in der Life-Science. Darüber hinaus senkt die Technologie mit Piezoventilen den Verbrauch von Druckluft um bis zu 50 Prozent.

Die präzise und dynamische Regelung mit der ersten Proportional-Ventilinsel VTEP am Markt ermöglicht laut Hersteller eine schnellere Produktion und sorgt zugleich für eine höhere Qualität der gefertigten Produkte. Neben der Elektronik- und Halbleiterindustrie und der Life-Science sind auch die Textilherstellung und Batteriefertigung mögliche Einsatzfelder der Ventilinsel.