Tripod auf XY-Kreuztisch Extreme Genauigkeit ohne Hexapoden

Anbieter zum Thema

Steinmeyer Mechatronik GmbH

SPN Schwaben Präzision Fritz Hopf GmbH

FAULHABER Antriebssysteme

Novotechnik Messwertaufnehmer OHG

Steinmeyer Mechatronik hat eine Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch entwickelt. Die Genauigkeit und Zuverlässigkeit für Montage und Messung von Optiken ist dabei höher als bei einem Aufbau mit Hexapoden.

Bei der Messung, Montage und Inspektion von Linsen, Prismen, Wafern oder Halbleiterchips ist höchste Präzision im Mikrometer- und Submikrometer-Bereich gefragt. Die Zuführung der Komponenten auf den Träger übernehmen in der Regel jedoch Systeme, die auf große Wege, höchstmögliche Taktzeiten und eine robuste, preiswerte Ausführung optimiert sind. Extreme Genauigkeiten? Fehlanzeige. Auch ist die Anzahl der Bewegungsfreiheitsgrade meist eingeschränkt. So ist beispielsweise keine Kippung in zwei Richtungen möglich, wenn der Transport mit einem XYZ-System erfolgt. Um die hohen Genauigkeitsanforderungen zu erfüllen, müssen die Komponenten daher nach der Zuführung noch mit einer separaten Alignment-Vorrichtung ausgerichtet werden. In vielen Fällen geschieht dies mit einem Hexapoden. Doch ist dies immer die bestmögliche Lösung?

Mitnichten. Innovative Ansätze wie der Tripod auf einem XY-Kreuztisch von Steinmeyer Mechatronik sind hochpräzise, robust sowie einfach zu bedienen und haben sich in zahlreichen Alignment-Applikationen der Halbleiterindustrie erfolgreich als anwenderfreundliche und wirtschaftliche Alternative bewährt.