Präzise Positionserfassung mit hoher Auflösung

Anbieter zum Thema

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

Lenord, Bauer & Co. GmbH

SPN Schwaben Präzision Fritz Hopf GmbH

AMO Automatisierung Messtechnik Optik GmbH

Innovatives Funktionsprinzip

Das verwendete Längenmesssystem LMK-100 mit einer Teilungsperiode von 1000 µm und Signalperioden von 1000 µm bis 20 µm basiert auf dem induktiven Amosin-Messprinzip. Die Messsysteme kommen völlig ohne magnetische Komponenten, Hysterese oder Entmagnetisierungseffekte aus.

Das Amosin-System besteht im Wesentlichen aus einer planaren Spulenstruktur im Messkopf und einer Maßverkörperung. Dies ist typischerweise ein Maßband, in dem konkreten Fall des Planarmotors jedoch direkt der Planarantriebsstator. Die Spulenstruktur wird auf einem Substrat in Mikro-Multilayer-Technik gefertigt. Dabei sind die einzelnen Hauptelemente mit Primär- und Sekundärspulen in Messrichtung gestreckt.

Die relative Bewegung in Messrichtung zwischen Sensorstruktur (im Abtastkopf) und der Maßverkörperung ändert periodisch die Gegeninduktivität der einzelnen Spulen und erzeugt zwei sinusförmige 90°-phasenverschobene Signale (SIN und COS). Die ausgezeichnete Signalgüte und Stabilität gegen Umwelteinflüsse führt dazu, dass nach der Signalkonditionierung in der Auswerteelektronik Abweichungen von nur 0,1 % der Ideal-Sinusform (Oberwellenanteil) bleiben. Dies ermöglicht eine präzise Positionserfassung und eine hohe Auflösung von beispielsweise 0,125 µm. Ein wesentliches Merkmal des Funktionsprinzips ist auch, dass nach dem Amosin-Verfahren durch das hochfrequente Wechselfeld keine Messhysterese entsteht – anders als beim Einsatz von magnetischen Systemen. (jv)

(ID:42445995)