Oberflächenbeschichten

Neue Schichten gegen Verschleiß

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Maßgeschneiderte Morphologie

Die deutlich verbesserte Skalierbarkeit der Parameter mit S3p ermöglicht eine maßgeschneiderte Morphologie der Beschichtung für verschiedenste Anwendungsanforderungen. So kann zum Beispiel eine extrem feinkörnige und dichte Morphologie oder auch eine eher säulenartige und poröse gewählt werden. Es ist zudem möglich, mehrere Schichten von ab-wechselnd fein- und grobkörnigen Schichten desselben Materials zu erzeugen, wodurch sich einzigartige mechanische Eigenschaften erzielen lassen.

Davon können zum Beispiel Mikrowerkzeuge profitieren, wie sie etwa in der Automobilindustrie zur Bohrung von Düsenlöchern für Injektionssysteme in LKW-Motoren eingesetzt werden. Diese Tools sind meist zu klein für eine Nachbehandlung, die etwa zur Entfernung von Tröpfchen infolge der Arc-Technik nötig würde. Mögliche S3p Anwendungen sind auch Beschichtungen für Gussformen von Teilen in der Unterhaltungselektronik oder für Uhrmacherwerkzeuge.

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Stabilere und effizientere Prozesse

Die nun variable Impulsdauer verbessert zudem die Prozessstabilität beträchtlich. So muss kein Kompromiss mehr zwischen Impulsdauer und -stärke gefunden werden, wodurch sich eine größtmögliche Abscheiderate und erhöhte Effizienz gegenüber früheren HiPIMS-Verfahren erzielen lässt. Zusätzlich bewirkt die Skalierbarkeit der Impulse innerhalb eines breiten Bereichs reaktive Prozesse frei von Hysterese-Effekten. Auch dies macht den Beschichtungsprozess stabiler und einfacher kontrollierbar. (qui)

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