Linearführung Ruhig und präzise abgetaucht

Redakteur: Ute Drescher

Wafer vibrationsfrei und gleichmäßig in ein Bad zu tauchen, stellt besondere Anforderungen an das Führungssystem der entsprechenden Anlage. Um die hohen Anforderungen an die Hubbewegung zu erfüllen, setzt Sondermaschinenbauer Pink auf die Flanschkugelbuchsen von Dr. Tretter.

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Das Transfersystem besteht aus vier Flanschkugelbuchsen und vier Mittenflanschbuchsen. Der Antrieb für die Hubbewegung übernehmen zwei Kugelgewindespindeln.
Das Transfersystem besteht aus vier Flanschkugelbuchsen und vier Mittenflanschbuchsen. Der Antrieb für die Hubbewegung übernehmen zwei Kugelgewindespindeln.
(Bild: Dr. Tretter)

Die Pink GmbH Vakuumtechnik mit Sitz in Wertheim am nördlichsten Rand Baden-Württembergs, direkt an der Grenze zu Bayern, liefert individuell gefertigte Anlagen und Systeme an namhafte Technologieunternehmen. Dazu gehören Firmen aus der Automobilindustrie, aus der Medizintechnik, der Halbleiter- und Elektroindustrie, der Luft- und Raumfahrt sowie aus Wissenschaft und Forschung. Durch kontinuierliche Produktoptimierungen und konsequente Kundenausrichtung ist Pink in den vergangenen Jahren stetig und erfolgreich gewachsen. Das Portfolio umfasst vakuumtechnische Sonderanlagen, Ultrahochvakuum-Komponenten und Systeme, Dichtheitsprüfanlagen, Beschleunigerkomponenten sowie Vakuum-Standardbauteile. Pink entwickelt und produziert Lösungen im eigenen Haus. Dazu steht eine Gesamtfläche von 15 000 m2 zur Verfügung. Insgesamt beschäftigt das Unternehmen 230 Mitarbeiter, davon 130 in der Produktion, 40 in Entwicklung und Konstruktion.

Auf Zuverlässigkeit gesetzt

Weil Pink viele Maschinenelemente und Komponenten zukauft, nehmen für den Sondermaschinenbauer Zulieferer eine wichtige Rolle ein. Dabei sind Zuverlässigkeit, Preis, Termintreue sowie eine schnelle Lieferung selbst in wirtschaftlichen Engpässen entscheidend. Die Maschinenkomponenten müssen aber nicht nur technisch hochwertig sein. Bei der Auswahl der Lieferanten legt das Unternehmen viel Wert auf Qualität und Partnerschaft, damit stets die passenden Komponenten im Einsatz sind. Ein Beispiel einer erfolgreichen Kooperation bei der Entwicklung moderner, wettbewerbsfähiger Maschinen ist die seit einigen Jahren bestehende intensive Zusammenarbeit mit der Dr. Erich Tretter GmbH & Co., Rechberghausen.

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Gleichmäßig und ohne Vibrationen

Für einen namhaften Konzern in München wurde eine innovative Anlage für die Halbleiterindustrie entwickelt. Das sogenannte Liquid Fill Tool ist ein Funktionssystem, mit dem Anwender Waferscheiben mit geschmolzenen Metallen oder Legierungen druckimprägnieren können. Für die Qualität der Beschichtung ist es entscheidend, die Wafer vibrationsfrei und gleichmäßig in das Bad zu tauchen. Damit bestanden besondere Anforderungen an das Führungssystem.

Die Imprägnierung ist ein wichtiger Abschnitt im modernen Elektromaschinenbau. Diese soll elektrische Leiter vor Feuchtigkeit, Staub, Schmutz und chemisch aggressiven Stoffen schützen. Außerdem kann das Imprägniermedium die im Leiter entstehende Wärme besser an die Umgebung abgeben. Damit es bei der Beschichtung zu keinen Lufteinschlüssen kommt, werden die Waferscheiben unter Hochdruck in das geschmolzene Metall getaucht. Haben sie die Anlage nach dem Tauchvorgang verlassen, härten die so beschichteten dünnen Scheiben in einem Ofen aus.

Um die hohen Anforderungen an die Hubbewegung zu erfüllen, setzt der Sondermaschinenbauer auf die Flanschkugelbuchsen von Dr. Tretter. Dieses Führungssystem ist in vielen verschiedenen Ausführungen erhältlich. Es lassen sich damit nahezu alle Linearbewegungen umsetzen. „Bei den Elementen handelt es sich um Wälzlager für Längsbewegungen“, erklärt Peter Bordasch, Geschäftsführer und Vertriebsleiter bei Dr. Tretter. „Sie bestehen aus einem Gehäuse, den Kugeln und einem Käfig, der die umlaufenden Kugeln hält und führt.“ Die Kugeln wälzen dabei auf der Führungswelle ab und werden über einen Rücklaufkanal zurückgeführt. Das ermöglicht eine unbegrenzte Linearbewegung. „Kugelbuchsenführungen eignen sich auch deshalb für diese Anwendung, weil sie eine tragende Funktion übernehmen können. Bei dieser Anlage stützen sie die komplette Haltevorrichtung. Die Kugelbuchsen erreichen Geschwindigkeiten bis zu zwei m/s. Somit können mit der Anlage kurze Prozesszyklen erreicht werden. Geschmiert werden sie mit Öl oder Fett. Die Erstbefettung reicht in der Regel aus, da bei vielen Anwendungen eine Nachschmierung nicht zwingend erforderlich ist. Um die geforderte Führungsgenauigkeit zu erreichen, sind zudem vier Mittenflanschbuchsen in das Transfersystem eingebaut.

Ein wichtiger Grund, warum sich Pink für diese Maschinenelemente entschieden hat und nicht beispielsweise für die Profilschienenführungen ist, dass die Flanschkugelbuchsen den Vorteil haben, wegen des größeren Spiels auch höhere Toleranzen in der Anschlusskonstruktion kompensieren zu können. Damit müssen die Flächen, auf denen sie montiert sind, nicht ganz so exakt bearbeitet sein. Das spart erheblich Zeit, da das Gehäuse bereits einen Flansch hat, müssen die Monteure die Kugelbuchse nur noch anschrauben. Sie müssen nicht extra eine Vorrichtung fertigen und es können somit äußerst kurze Montagezeiten erreicht werden.

Um das Transfersystem anzutreiben, lieferte Dr. Tretter zwei Kugelgewindetriebe, ebenfalls mit Flanschmuttern. Die geschliffen Kugelgewindetriebe mit hoher Steigungsgenauigkeit haben Wellendurchmesser von 25 mm. Weil diese mechanisch sehr steif sind, ermöglichen sie hohe Positioniergenauigkeiten.

Know-how und Vertrauen

Ein weiterer, nicht unwesentlicher Grund für Pink, sich für Dr. Tretter als Zulieferer zu entscheiden ist die räumliche Nähe und das Vertrauen, das sich während der langjährigen Geschäftsbeziehung zwischen den beiden Unternehmen aufgebaut hat. (ud)

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