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Positioniertisch Nanopositioniertische mit hoher geometrischer Performance

| Redakteur: Jan Vollmuth

Die parallelkinematischen Piezo-Nanopositioniertische aus der Aerotech-Baureihe QNP2 XY kombinieren Auflösungen im Sub-Nanometerbereich, hohe Dynamik und eine sehr gute geometrische Performance in einem flachen Kompaktgehäuse.

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(Bild: Aerotech)

Die QNP2-100-XYA weisen eine freie Apertur von 50 mm x 50 mm mit Closed-Loop-Verfahrwegen bis 100 μm x 100 μm auf (Open-Loop-Verfahrwege bis 120 μm x 120 μm). Das Design ist ideal geeignet für die optische Mikroskopie, Rastersondenmikroskopie, Röntgentransmissionsmikroskopie und andere Anwendungen, bei denen ein Teilezugang von zwei Seiten erforderlich ist.

Präzisionsdesign

Bei den QNP2-Piezotischen kommt ein parallelkinematisches Auslenkungs- und Messtechnikdesign zum Einsatz, das höchste Genauigkeit bei Mehrachsensystemen gewährleistet. Die präzisen, FEA-optimierten Auslenkungen sorgen für eine hohe Steifigkeit und lange Nutzungsdauer. Die hohe Steifigkeit und Resonanzfrequenz ermöglichen einen hohen Prozessdurchsatz und schnelle Closed-Loop-Ansprechzeiten. Durch den Einsatz einer zum Patent angemeldeten Antriebsauslegung werden Gierfehler unter Beibehaltung eines Abbe-konformen messtechnischen Systems auf ein Minimum reduziert.

Alle QNP2-Piezotische sind in den Ausführungen Closed Loop (-C) oder Open Loop (ohne Feedback) erhältlich. Das einzigartige parallelmesstechnische Design mit kapazitivem Sensor misst die Ausgabe des Positionierungsschlittens direkt und ermöglicht Auflösungen von 0,15 nm, eine Linearität von 0,01 % und eine bidirektionale Wiederholgenauigkeit von 1 nm.

Hochgenaue Steuerung

Die Steuerungen und Antriebe aus der Q-Serie von Aerotech bieten eine Reihe praktischer Softwareoptionen. Die Softwarepakete Dynamic Controls Toolbox und Motion Designer bieten zahlreiche fortschrittliche und benutzerfreundliche Tools wie Learning Control, Harmonic Cancellation und Command Shaping, die eine Reduzierung von Tracking-Fehlern und schnellere Einschwingzeiten ermöglichen. Die Steuerungsarchitektur von Aerotech ermöglicht bei hoher Geschwindigkeit eine präzise und koordinierte Bewegungen von Piezotischen, Servos, Schrittmotoren und Galvos.

Eine optionale Montageplatte ermöglicht die direkte Montage an zöllige oder metrische optische (Versuchsaufbau-) Tische. Feste Verfahrschlitten sind ebenfalls optional erhältlich. Alle QNP2-Piezotische sind auch in benutzerspezifischen Materialien und als vakuumvorbereitete Versionen erhältlich. (jv)

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