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Linearmotor Linearmotorlösungen im Vakuum

| Redakteur: Ute Drescher

20 Jahre Erfahrung in der Konstruktion und Fertigung von Vakuumlinearmotoren machen Tecnotion zu einem führenden Experten in diesem Bereich. Vakuumlinearmotoren von Tecnotion werden in zahlreichen Anwendungen der Halbleiterindustrie wie für Applikationen in Lithografie und Inspektion eingesetzt. Dabei kann Tecnotion sowohl Motoren anbieten, die den strengsten Vakuum-Anforderungen genügen, als auch kostengünstigere Lösungen liefern.

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Eisenloser Tecnotion Vakuummotor UMV
Eisenloser Tecnotion Vakuummotor UMV
(Bild: Tecnotion)

Immer mehr High-Tech-Anwendungen verlangen nach Vakuum-Lösungen, um einerseits das Risiko von unerwünschten chemischen Reaktionen zu minimieren sowie andererseits Verunreinigungen während des Herstellungsprozesses oder der technischen Ausstattung möglichst zu vermeiden.

Bewegung ist eine der größten Herausforderungen in einem Vakuum. Dabei sind Wartungsfreundlichkeit, Zuverlässigkeit, Vielsieitgkeit und Ausgasung kritische Faktoren in einer Vakuumanwendung; ist einer dieser Faktoren nicht vollständig erfüllt, kann dies lange Ausfallzeiten oder fehlerhafte Produkte zur Folge haben. Daher sollten über die erste Investition der Anschaffung hinaus auch die Gesamtbetriebskosten betrachtet werden.

Wartungsfreie Vakuumlinearmotoren

Bekanntermaßen sind die Instandhaltungskosten von Bewegungssystemen im Vakuum sehr hoch. Der Vorteil von Linearmotoren mit Vakuumnennwerten liegt darin, dass sie keine sich bewegende Teile haben und zudem ohne Reibung arbeiten; dadurch bedürfen diese Motoren keinerlei Wartung. Zudem können die Vakuumlinearmotoren von Tecnotion komplett in der Vakuumkammer installiert werden und benötigen so keinen teuren Vakuumdurchführungen.

Eine hohe Ausgasung des Bewegungssystems können den Produktionsprozess beeinträchtigen. Die eisenlosen Vakuumlinearmotoren von Tecnotion weisen die niedrigsten Ausgasungswerte auf, die ein Standardprodukt erreichen kann; die spezielle Konstruktion der Spuleneinheit und des Magnetjochs empfehlen die Tecnotion Vakuummotoren für den Einsatz im Hochvakuum bis zu 10-8 mBar.

Aktuell bietet Tecnotion drei Typen von Vakuumlinearmotoren an:

  • Eisenlose Linearmotoren mit Vakuumnennwerten für sehr hohe und niedrige Vakuum-Anforderungen
  • Linearmotor-Transportsystem mit eisenbehafteten oder eisenlosen Motoren
  • Kundenspezifische nach individuellen Anforderungen konstruierte Linearaktuatoren, auf Wunsch mit unübertreffbaren technischen Eigenschaften

Alle Tecnotion Produkte mit Vakuumnennwert werden im hauseigenen Reinraum in den Niederlanden konstruiert, gefertigt und geprüft sowie verpackt. (ud)

SPS IPC Drives 2013: Halle 4, Stand 241

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