Vakuumpumpe Hochvakuumpumpenserie vorgestellt

Redakteur: Dipl.-Ing. Dorothee Quitter

Die neuen, magnetisch gelagerten Turbo-Molekularpumpen TURBOVAC MAGiNTEGRA von Oerlikon Leybold Vacuum zeichnen sich durch kompakte Konstruktion, ausgezeichnete Vakuum-Leistungsdaten und ein standardisiertes Zubehörprogramm aus.

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Turbo-Molekularpumpen MAGiNTEGRA (Bild: Oerlikon)
Turbo-Molekularpumpen MAGiNTEGRA (Bild: Oerlikon)

Die Vakuumpumpe bietet wartungsfreien Betrieb in den meisten Applikationen industrieller Prozesse, wie zum Beispiel im Display-, Solar-, Beschichtungs- und Forschungsmarkt. Robust und zuverlässig ist die MAGiNTEGRA beständig gegen Prozesspartikel und Stäube. Eventuell prozessbedingte Stoßbelüftungen werden weitestgehend toleriert, ebenso wie eine Montage der Pumpen in jeder Position und in jedem Einbauwinkel. Das rotationssymetrische und platzsparende Gehäuse sowie eine flexible Frequenzwandler-Montageposition bieten weitere Vorteile. Durch die berührungslose und damit verschleißfreie Lagerung ist die magnetgelagerte Vakuumpumpe weitestgehend wartungsfrei. Zudem bietet diese Lagerung hohe Sicherheit gegen Kohlenwasserstoffe, wenn bei sensitiven Prozessen selbst geringste Restmengen Schmierfette von Kugellagern nicht tolerierbar sind. Einen weiteren Vorteil bietet die MAGiNTEGRA bei schwingungsempfindlichen Anwendungen durch ihren extrem vibrationsfreien Lauf. Weiterhin weist sie modernste Kommunikationsschnittstellen mit einer intelligenten Überwachung der Prozess-Parameter inklusive einer Selbstschutzfunktion bei Betriebsstörungen auf. (qui)

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