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Wälzlager Dünnringlager für die Halbleiterindustrie

| Redakteur: Dipl.-Ing. (FH) Sandra Häuslein

Kompakt und leichtgewichtig, dabei jedoch leistungsfähig und präzise: Mit diesen Eigenschaften sollen die Dünnringlager von Rodriguez überzeugen; beispielsweise in der Halbleiterindustrie.

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Aufgrund ihrer speziellen Eigenschaften sollen sich Dünnringlager von Rodriguez besonders gut für den Einsatz in der Halbleiterindustrie eignen.
Aufgrund ihrer speziellen Eigenschaften sollen sich Dünnringlager von Rodriguez besonders gut für den Einsatz in der Halbleiterindustrie eignen.
(Bild: Rodriguez)

Dünnringlager von Rodriguez kommen in der Halbleitertechnologie unter anderem in Objektivblenden von fotolithografischen Systemen zum Einsatz: Nachdem diese Blenden möglichst kompakt und flach konstruiert sein sollen, sind Dünnringlager hierfür besonders geeignet. Laut Rodriguez zeichnen sich die leichtgewichtigen Lagertypen durch den kleinen Querschnitt aus, der auch bei steigendem Bohrungsdurchmesser gleich bleibt. Das Kaydon-Dünnringlagerspektrum umfasst rund 250 Lagertypen.

Kundenspezifische Sonderlösungen

„In der Halbleiterbranche gibt es aber noch viele weitere Anwendungsbeispiele für die Dünnringlager“, sagt Ulrich Schroth, Geschäftsbereichsleiter Value Added Products bei Rodriguez. „So liefern wir seit vielen Jahren Kaydon-Dünnringlager aus Edelstahl an einen Kunden, der diese in Single-Wafer-Systemen verbaut.“ Auf Basis der Dünnringlager entstehen bei Rodriguez auch komplette, einbaufertige Baugruppen, die präzise auf die jeweilige Applikation zugeschnitten werden. Diese kundenspezifischen Sonderlösungen fallen in den Geschäftsbereich „Value Added Products“ des Unternehmens. Hier sollen Kunden spezifische Systemlösungen, ganze Baugruppen in kleinen Stückzahlen sowie einen umfassenden Rundum-Service erhalten. „Auch hier gibt es ein Beispiel aus der Halbleitertechnologie: Eines unserer Komplettsysteme bewährt sich in vollautomatischen Hochgeschwindigkeits-Mess-Systemen für Wafer“, sagt Ulrich Schroth abschließend. (sh)

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